中国科学院近代物理公共技术中心安装了一台ZEISS Crossbeam 350聚焦离子束-扫描电子显微镜（SEM-FIB）
。
此设备
将高分辨率场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）的
出色
成像和分析性能与新一代聚焦离子束（FIB）的
优异
加工能力相结合。通过样品台减速技术（Tandem decel，新型蔡司Gemini电子光学系统的一项功能）实现低电压电子束分辨率提升高达30%。使用Gemini电子光学系统，可以从高分辨率扫描电镜（SEM）图像中获取真实的样品信息。配有新一代的镓离子FIB镜筒——Ion-sculptor，具有可实现高通量的高电流以及用于高样品质量的出色低电压性能。
目前，该仪器已运行实验并实施开放共享，欢迎有需要的的老师预约测试！
一、主要技术指标
1.电子束
加速电压：0.02kV-30kV
高电压分辨率：0.6nm@15kV（二次电子）
低电压分辨率：1.0nm@1kV（二次电子）
2.离子束
离子束分辨率：3.0nm@30kV
离子束束流强度：0.1pA-100nA
离子束电压：500V-30kV
3.样品台
样品台类型：6轴电动超共心，通过SmartSEM用
户界面进行控制，使用双操纵 杆控制箱进行操作。
移动：X/Y=100mm；Z=50mm；M=13mm
样品台可双向倾斜，倾斜范围T为-4到70 ，
旋转角度R=360 。
4.放大倍数
SEM:12x 至 2,000,000x
FIB:300x 至 500,000x
5.配件
EBSD：牛津C-nano
EDS ：牛津AZtecLiveLite UltimMax 40能谱仪系统
气体注入系统：铂沉积气体
二、主要应用
1.微观形貌观察
2.微纳米加工
3.超薄TEM样品制备
4.EBSD测试
5.EDS测试
三、联系方式
联系人：崔明焕 13919874236
地址：甘肃省兰州市城关区南昌路509号
邮箱：mhcui@impcas.ac.cn
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